广州增芯申请绝压式传感器相关专利,可制作更多不同性能要求的绝压式传感器
2025-01-27
金融界2025年1月27日消息,国家知识产权局信息显示,广州增芯科技有限公司申请一项名为“一种绝压式传感器的制作方法及绝压式传感器结构”的专利,公开号 CN 119349500 A,申请日期为2024年10月。
专利摘要显示,本发明提供了一种绝压式传感器的制作方法及绝压式传感器结构,该方法通过先在衬底表面上的第一钝化层中刻蚀出若干个释放孔,然后通过若干个释放孔对衬底进行湿法腐蚀,以形成初始空腔;之后再通过在第一钝化层上形成第一沉积层以密封初始空腔,形成密封空腔;最后在第一沉积层上制作器件区以形成绝压式传感器;从而使得本发明提供的方法在节约成本且避免了密封空腔与器件区对准精度差的问题的基础上,能够控制初始空腔的深度,从而能够制作更多不同性能要求的绝压式传感器。
天眼查资料显示,广州增芯科技有限公司,成立于2025年,位于广州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本682000万人民币,实缴资本301000万人民币。通过天眼查大数据分析,广州增芯科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目35次,知识产权方面有商标信息46条,专利信息39条,此外企业还拥有行政许可162个。