ICT半导体集成电路测试有限公司取得确定带电粒子束的像差的方法以及带电粒子束系统专利

金融界2025年2月21日消息，国家知识产权局信息显示，ICT半导体集成电路测试有限公司取得一项名为“确定带电粒子束的像差的方法，以及带电粒子束系统”的专利，授权公告号 CN 118043931 B，申请日期为 2022年8月。